离子溅射镀膜机工件架系统设计研究
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作 者：吕子啸
机构地区：山西太重兴业投资发展有限公司,山西太原030024
出 处：《科技风》 2014年第20期 54-54页,共1页
摘 要：随着我国制造行业的快速发展，离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中，因此，离子溅射镀膜机对我国制造行业的发展具有重要作用。本文从磁控溅射离子镀膜机的优点入手，对磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计进行研究。
关键词：镀膜机 离子溅射镀膜机 工件架 系统设计
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