遗忘的回忆 发表于 2015-7-12 22:47:22

真空蒸发镀膜

第十八讲真空蒸发镀膜
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作　　者：张以忱
机构地区：东北大学,辽宁沈阳110004
出　　处：《真空》 2014年第51卷第1期 77-80页,共4页
Vacuum
摘　　要：⑤具有轴向枪、磁聚焦和磁偏转90。的蒸发器：如图11（e）所示。采用水平安装电子枪，电子束经静电偏转或磁偏转之后再轰击镀料，可克服蒸气污染和占用有效空间的缺点。
关键词：真空蒸发镀膜 水平安装 静电偏转 有效空间 磁偏转 磁聚焦 蒸发器 电子枪
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