用线阵CCD实现精密位置测量
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作 者：江孝国 李洪 杨兴林 文龙 王远
机构地区：中国工程物理研究院流体物理研究所106室,四川绵阳621999
出 处：《高能量密度物理》 2014年第2期 51-56页,共6页
High Energy Density Physics
摘 要：利用全硬件电路，通过将位置信息转换为时间信息进行计数测量的方式，实现了对线状光斑中心位置或边沿的快速精密检测，达到了精密位置测量的目的。该系统主要由线阵CCD、多阶有源低通滤波器、专用计数电路等构成。通过对线阵CCD输出信号的相关双取样、低通滤波及微分处理，得到了对应于特征位置的脉冲信号；再利用专用计数电路对特征位置脉冲信号相对于线阵CCD的转移脉冲信号的时间进行计数，并扣除线阵CCD前部的哑元输出时间的计数，从而获得了与特征位置对应的时间计数；然后通过简单的转换即可得到待测位置的信息。该系统利用全硬件电路工作的特性，具有高速度、亚像元的位置检测精度、高集成度的特点。
关键词：线阵CCD 精密位置测量 信号处理 xie xie
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