ditto 发表于 2004-10-23 19:50:00

求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

<P><b>pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？</b></P>
哭着感谢！！！！！！！
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