chz321 发表于 2004-11-24 07:44:00

<P>我们用到92%就不用了,</P><P>我想请问一下,晶片用到有效期过后,清洗再用,一共可清洗几次后晶片就不能再用了,</P>

李伟华 发表于 2004-11-24 16:43:00

<B>以下是引用<I>chz321</I>在2004-11-23 23:44:36的发言:</B>

<P>我们用到92%就不用了,</P>
<P>我想请问一下,晶片用到有效期过后,清洗再用,一共可清洗几次后晶片就不能再用了,</P>
<P>理论上只要洗干净可以用多次。</P>
<P>一些日企的经验是返用2次就不用了。他们的返用是返镀,不是简单的清洗。</P>
<P>晶控片返镀一次,就有所磨损。而一批晶片磨损度是很难保证一致的,所以返镀的晶片寿命会产生大的差异。</P>

xiaoil 发表于 2004-11-25 01:20:00

<P>请问晶控片如何清洗?清洗时应注意些什么呢?请老师教教我!</P>

chz321 发表于 2004-11-25 08:08:00

<P>多谢李伟华,</P><P>我还有个问题想问一下,我在书上看过,说晶振片的灵敏度跟温度有关,温度越高灵敏度越低,但书上没说高多少度时灵敏度会降下,那我们用的晶片一般工作温度都在200左右或更高,那是否影响晶片的灵敏度,</P>

李伟华 发表于 2004-11-25 16:29:00

<B>以下是引用<I>chz321</I>在2004-11-25 0:08:39的发言:</B>

<P>多谢李伟华,</P>
<P>我还有个问题想问一下,我在书上看过,说晶振片的灵敏度跟温度有关,温度越高灵敏度越低,但书上没说高多少度时灵敏度会降下,那我们用的晶片一般工作温度都在200左右或更高,那是否影响晶片的灵敏度,</P>
<P>
<P>晶片有温频特性,即温度变化晶片的频率会产生变化。这种变化量是很微小的,但对膜厚来说这种变化还是有很大的影响。特别是温度骤冷骤热,晶片的频率就会产生的突变。</P>
<P>因此晶控仪探头都加装有冷却水部分。在镀膜过程中,真空室的温度一般都很高,而晶控控头部分的温度相应是低而恒温的。晶片的最佳工作温度是25度+-5度,水温最高应控制60度下。并保持恒定。</P>
<P>晶控片是个很敏感的传感器,控制控头冷却水的温度对稳定膜厚控制和延长晶片寿命是必要的。</P>

李伟华 发表于 2004-11-25 16:30:00

我是理论方面的,大家谈谈实际情况。

超级狐狸 发表于 2004-11-25 21:12:00

<P>IC5说明书中确定Z-ratio时,有如下的一段话:</P>
<P>Laboratory results indicate that Z-values of materials in thin-film form are very close to the bulk values.However ,for high stress producing materials,Z-values of thin films are slightly smaller than those of the bulk materials.</P>
<P>请问bulk value中的bulk是啥意思啊?还有high stress producing material是指什么样的材料啊</P>

超级狐狸 发表于 2004-11-25 23:37:00

bulk value是不是容积密度的意思啊?粉尘密度有堆积密度和真密度之分。自然堆积状态下单位体积粉尘的质量,称为粉尘堆积密度(或称容积密度)。密实状态下单位体积粉尘的质量,称为粉尘真密度(或称尘粒密度)。

liudongdong 发表于 2004-11-26 01:10:00

楼上如有用到MAXTEK和TELEMARK牌子的晶体膜厚测量仪的我有办法帮您晶振片使用寿命延长4-10倍,减少换片次数。的意者请致电我们0755-26066810,26066939

xiaoil 发表于 2004-11-27 21:23:00

有谁需要TETEMARK880的说明书,请留下E-MAIL地址我给大家发过去?

hzkd 发表于 2004-11-28 00:15:00

hzkd@tom.com

xiaoil 发表于 2004-11-28 18:15:00

<P>那位想要TELEMARK880中文说明书,请留下电子邮箱E-MAIL,我一并发给大家一起分享!</P>
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