hflin95 发表于 2004-11-5 21:48:00

求助（光刻）

<P>光刻分辨率为1~2um，光刻胶的厚度1~2um，φ100mm，整个光刻流程需要哪些设备，大概各设备的价格及总投入需要多少，对环境的要求如何？</P>
页: [1]
查看完整版本: 求助（光刻）