球面轮廓测量仪
球面轮廓测量仪 基于相位恢复技术实现器件球面轮廓三维测量，可应用于球面透镜、球面反射镜等器件的面型测量。 系统性能指标：激光波长：635nm器件口径：f1mm-f300mm球面曲率半径：2mm-100mm测量精度(PV值)：10mm可实现系统像差分析以及器件面型误差分析定制化服务工作
1）几何光学成像系统设计
2）干涉和衍射测量系统设计
3）激光测量系统设计
4）显微成像系统设计
5）光纤传感测量系统设计
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