90282972 发表于 2017-4-30 10:45:07

coaterxf 发表于 2017-5-12 22:33:41

riy2000 发表于 2017-5-12 16:26
估计是真空度太低了，金属铝层不牢。

1. 针孔是镀膜前镜片表面洁净度不够。
2. 镀铝用漏斗型钨丝或电子枪+导电陶瓷坩埚镀膜，速率25A/S时候反射率最高，气压越低越好。镀铝要低温，离子源用也只能霍尔，纯氩气。
3. 保护层：升温到150℃，再镀SiO2大概30nm，开离子源。

a99533126 发表于 2017-5-7 00:46:18

最后加点ti3o5,用Al2o3做保护层。

90282972 发表于 2017-5-11 13:54:46

riy2000 发表于 2017-5-12 16:26:46

估计是真空度太低了，金属铝层不牢。

riy2000 发表于 2017-5-13 10:22:07

coaterxf 发表于 2017-5-12 22:33
1. 针孔是镀膜前镜片表面洁净度不够。
2. 镀铝用漏斗型钨丝或电子枪+导电陶瓷坩埚镀膜，速率25A/S时候反 ...

果然是高手，说得很明白。{:6_143:}

truckcar 发表于 2017-5-19 17:16:15

二次清洗才能避免针孔。铝直接加二氧化硅欠考虑

update 发表于 2017-5-22 09:38:24

{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}

90282972 发表于 2017-5-23 13:22:01

huang12949 发表于 2017-5-25 16:39:56

SIO2不用加氧气啊，金属速率25并不大，如果说电流大，电子枪镀会有这个问题

ouyuu 发表于 2017-6-2 18:03:42

SiO2不加氧会变黄。部分是以SiO的形式存在。

也许没名 发表于 2017-6-7 13:04:49

{:6_151:}{:6_152:}{:6_157:}{:6_178:}多少镀铝的高手
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