MEMS器件运动与3D形貌实时测量技术
基于菲涅尔衍射的数字全息重建技术测量动态的3D形貌,精度达到了亚纳米级别并且纵向做到了亚纳米分辨率。细胞分裂过程3D形貌监测
不同于传统白光干涉仪、共聚焦显微镜、扫描探针轮廓仪等需要扫描的成像方式,数字全息技术仅需0.001秒采集单张全息图即可测出物3D形貌信息,做到了快速动态监测。
案例视频
http://v.youku.com/v_show/id_XOTMwNDE0ODE2.html?spm=a2h0j.8191423.module_basic_relation.5~5!2~5~5!8~5!2~1~3~A
或者优酷搜索关键词: 实时呈现三维形貌
原理:
和传统全息术不一样的是没有采用干板而是采用CCD记录全息图,全息图中
光强图:提供与传统显微镜一样对比度的图像
相位图:提供量化数值,得以对被测物体进行精确三维测量
该系统为预放大全息显微镜,其中的相位图解析中用到了大量的算法,实时相位解包裹技术
实时形貌测量的案例二:石墨烯薄膜受力形变实时测量
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