lxuezhang 发表于 2005-3-23 17:49:00

[求助]表面粗糙度的测量？

表面粗糙度在1埃以下，如硬盘盘片的cmp抛光，Ra0.5Å，是用何种仪器测量的？可信否？

zphhappy2002 发表于 2005-3-25 19:49:00

    现向你推荐美国SCI公司的薄膜测试仪器,本公司的测试器是针对一些MEMS,薄膜测试.<B>Measurement Features<p></p></B></P><B>测量特征</B><B><p></p></B></P><B>FilmTek™ 1000<p></p></B></P><B>FilmTek™ 1500<p></p></B></P><B>FilmTek™ 2000<p></p></B></P><B>FilmTek™ 3000<p></p></B></P><B>FilmTek™ 2000SE<p></p></B></P><B>FilmTek™ 4000<p></p></B></P>Index of Refraction折射指数
(at 2&micro;m thickness) <p></p></P>±0.005<p></p></P>±0.005<p></p></P>±0.002 <p></p></P>±0.002<p></p></P>±0.0002 <p></p></P>±0.00002 <p></p></P>Thickness Measurement Range<p></p></P> 厚度测量范围<p></p></P>10nm-150mm <p></p></P>10nm-150mm <p></p></P>5nm-150mm <p></p></P>5nm-150mm <p></p></P>1&Aring;-150mm <p></p></P>3nm-350mm <p></p></P>Maximum Spectral Range <p></p></P>最大光谱范围<p></p></P>380-1000nm<p></p></P>380-1000nm<p></p></P>190-1700nm<p></p></P>190-1700nm<p></p></P>190-1700nm<p></p></P>190-1700nm<p></p></P>Standard Spectral Range<p></p></P>标准光谱范围<p></p></P>380-1000nm<p></p></P>380-1000nm<p></p></P>240-860nm <p></p></P>240-860nm <p></p></P>240-1000nm<p></p></P>380-1000nm<p></p></P>Reflection反射测量<p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Transmission透射测量<p></p></P> <p></p></P><p></p></P> <p></p></P><p></p></P> <p></p></P> <p></p></P>Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量<p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P><p></p></P>Power Spectral Density<p></p></P>功率谱密度测量<p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量<p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P>Both TETM Components of Index <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P>Multi-layer thickness<p></p></P>多层厚度测量<p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Index of Refraction<p></p></P>折射系数测量<p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数<p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Energy band gap<p></p></P>能量带隙测量<p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Composition成分测量<p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Crystallinity晶状测量<p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Inhomogeneous Layers<p></p></P>非均匀层测量<p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>Surface Roughness<p></p></P>表面粗糙度测量<p></p></P> <p></p></P> <p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P><p></p></P>   如有问题请与我们联系:0755-83342710,或:13632712541.    Email:zoupuhong@chinecnet.com
    祝工作愉快!

                                           邹普红

Jackysurface 发表于 2005-12-27 05:47:00

<P>zygo轮廓仪，精度也很高的了???</P>
<P>怎么个高法？</P>

catlw 发表于 2005-12-28 05:46:00

表面粗糙度的测量

可以用原子力显微镜实现。

2614162 发表于 2005-12-28 21:28:00

<P>有没专门测量单位，我有些片子想测量</P>
页: [1]
查看完整版本: [求助]表面粗糙度的测量？