mood 发表于 2005-5-20 05:26:00

[求助]PECVD生长薄膜时如何利用RF控制膜应力？

调节沉积时的RF频率可以缓解膜应力，原理是什么？
不懂，请教各位大侠。谢谢。

zz 发表于 2005-5-20 15:51:00

.................总之有句话说的好：过尤不及。

zz 发表于 2005-5-20 16:00:00

.................总之有句话说的好：过尤不及。
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