rwxu 发表于 2005-6-3 05:27:00

zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小？

有人知道zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小，不是指测量精度和分辨率，重复性概念，是测量量程的下限。

mlpo 发表于 2007-9-27 09:52:00

一样关注zygo测量中……

wujian 发表于 2007-9-28 10:08:37

没用过，打算进来了解哈情况的
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