rwxu 发表于 2005-6-4 18:06:00

zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小?

有人知道zygo的相移干涉仪的最小可测量的波差大小，不是指测量精度和分辨率，重复性概念，是测量量程的下限。
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