gxd_002 发表于 2005-6-16 21:12:00

导电膜

请问各位高手，谁能告诉我导电膜是什么类型的，材料？蒸镀方式和膜系的基本结构，我是做光通讯多层介质膜，对这个相关的膜一点都不了解，谢谢各位的指教了

coatingli 发表于 2005-6-17 00:13:00

你说的只是导电膜还是透明导电膜，如果是导电膜材料只有金属或者半导体都可以。不过我想你说的应该是透明导电膜，材料一般是In2O3和SnO2的混合材料，一般有磁控溅射和蒸镀两种方式，磁控溅射方式的话In2O3和SnO2的比例一般是90%：10%at，而用蒸镀方式材料比例在95%：5%左右，根据你需要的电阻来确定膜厚，膜厚越厚电阻越低。

ljwht 发表于 2005-6-17 06:17:00

膜厚和电阻之间怎么折算?

coatingli 发表于 2005-6-17 06:31:00

电阻=膜厚X电阻率，电阻率主要由材料，镀膜方法，工艺决定。

xuxk 发表于 2005-6-17 20:18:00

有个问题请教coatingli:
如果工艺稳定的情况下电阻率应该是一个定值吧?但是怎么会在你上篇帖子里,说"膜厚越厚电阻越低"呢?这不是矛盾的吗?
请赐教!

coatingli 发表于 2005-6-18 02:04:00

sorry，有笔误，是电阻率=膜厚X电阻，当电阻率一定时，膜厚增加，电阻降低。
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