ic5 发表于 2005-6-17 22:36:00

请教紫外区滤光片

请问哪位大侠:
针对紫外区(185-200nm)带通滤光片,可以选用哪些薄膜材料啊?
最好能提供材料的n,k数值!不胜感激!
同时也希望得到你的来信   ic5@oecr.com   谢谢!

flyinlove79111 发表于 2005-6-18 08:55:00

一般用HfO2,SiO2的比较多吧,具体n,k要看自己的设备了及工艺了

xuxk 发表于 2005-6-18 21:45:00

Al2O3,MgF2是常用材料,我们在这波段膜做了很多研究工作,有 兴趣大家可以彼此交流一下
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