Leesnow
发表于 2005-7-13 01:52:00
镀完之后的检测结果阿
4366544
发表于 2005-7-13 15:56:00
以下是引用经济学的故事在2005-7-12 16:50:57的发言:蒸镀条件没变更的话
建议你校正下你的Mask,另蒸镀时可考虑加大点Rotation speed.
能不能说清楚一点啊!谢谢!!!!!!!!!
attacker99
发表于 2005-7-14 05:25:00
主要是镀多层膜时,除MGF2外的其它膜料的均匀性不好。
1 加大DOME旋转速度
2 调节蒸发膜料的光斑,取得最佳入射角
3 观察伞片是否变形
4 重新修正MASK
4366544
发表于 2005-7-16 03:29:00
xiexie !wohuishishi de
TATA
发表于 2005-7-17 06:35:00
问下他是不是只做了MGF2的均匀性啊
4366544
发表于 2005-7-19 03:32:00
不是的!有多层的也有MGF2!我说的单层就是MGF2
hx0999
发表于 2005-7-21 17:54:00
路过,学习一下~
zjtzzg
发表于 2005-7-24 20:46:00
多层膜的均匀性肯定比单层膜要差点的,如果另一种或几种膜料的均匀性不好也是不行的