wanking 发表于 2005-7-17 02:40:00

sic掺杂采用什么氮源？

小弟想用离子注入法对sic掺杂，但是不知道要用什么N源比较合适。NH3可以么？

wlsly 发表于 2005-7-18 18:34:00

楼主是做SIC的？用氮气不行吗？？？
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