烦恼的针孔

xuxk · 发表于 2005-7-31 18:54:00

蒸镀金属Ag膜或者含金属层的诱导滤光片时时经常会产生针孔现象,请问其产生的原因主要有哪些(比如蒸发速率,蒸发真空,环境等)?怎么去控制呢?请大家畅所欲言,谢谢!

stick · 发表于 2005-7-31 19:56:00

基片没擦干净的原因，镀铝银等金属膜时有这种现象

zz · 发表于 2005-8-1 18:01:00

料要先熔好...................

yzhuang · 发表于 2005-9-14 22:38:00

如果是单纯镀银，分两次镀会比较好

mxb010ak47 · 发表于 2005-9-16 21:33:00

4楼说的有理。。。。。。。

gobn1968 · 发表于 2005-9-18 20:30:00

与匹配层的粗糙度也有关系，有大颗粒会出针孔。

tfc · 发表于 2005-9-19 22:32:00

针孔源于还没有形成完整金属膜，堆积厚度已到，要解决成膜“小岛”不够多的问题

xxyz · 发表于 2005-9-23 00:58:00

要解决成膜“小岛”不够多的问题涉及到薄膜生长动力学相关内容,比较复杂.不知道用离子辅助如何?谁有相关的实验结果?

lootooer · 发表于 2005-9-25 19:25:00

看来是基片上有水,干燥度不够,所以容易产生针孔,还有可考虑镀膜制程的环节!

zz · 发表于 2005-9-28 21:51:00

用溅射的当然好了
基片上有水这可能性不大,如有就不只针孔问题了

nqh1978 · 发表于 2005-10-2 22:29:00

理论是应该是聚积密度不够的范畴，实际上有许多原因造成的，镀膜的四大＼七大因数都是有影响的，很重要的一点是和该类膜的先决条件是什么？比如说温度，真空度等等，这些谁都知道，但如何对应的看这些问题只有你自己最清楚．