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光学加工工艺及检测测试
› 单晶硅的加工
xirui
发表于 2005-9-22 22:49:00
低抛,古典抛光嘛。做晶体现在要做到高精度,好像只有做古典法。高抛做晶体,我还没有认真试过。
yanzi
发表于 2005-9-23 05:16:00
请你告诉我到底是那种抛光液,可到那个公司购买,非常感谢!我的邮箱hongyanfengyeyanzi@126.com,我现在做的都是用高抛加工的,光圈可以做到一个圈,光洁度可以达到60-40,可是还不能满足客户的要求,他们要求做到0。5个圈。但是用低抛做的话,用氧化铈抛光达不到光洁度的要求!
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单晶硅的加工