洪峰 发表于 2005-12-7 15:58:00

机器DIY也很过瘾：）你加大的话难搞的接口是抗散泵接口。

天涯孤星 发表于 2005-12-7 16:19:00

是呀，现在问题就是接口，有人提议用两个300的扩散泵并联，是不是接口也成问题，另可能平台也不行了。

sanma 发表于 2005-12-8 02:57:00

彻底清理真空室（包括加热盘、底板、高阀、冷阱等），清理ZX-15及DP泵腔内脏物并换油，检查是否漏气，更换老化的密封胶圈。

yangmin 发表于 2005-12-10 16:31:00

<P>生产忙，买台新设备了。</P>

fsj999 发表于 2005-12-13 02:06:00

一个小时你还闲慢呀,我们公司用的现在抽一炉要2个小时呢

lb_80 发表于 2005-12-17 22:03:00

150的罗茨泵前极用15的机械泵抽应该不够提供罗茨泵所需的出口极限，用30L/s的机械泵加150的罗茨泵应该会明显提高抽速。
抽速更大的扩散泵口径不一样的。真要换的话可以考虑加过渡法兰。
我个人觉得你的真空度要求并不算太高，只要机械泵和罗茨泵的抽速足够大的话就可以减少抽空时间了。

xiaohe 发表于 2006-2-14 19:52:00

加配低温设备可以改善抽空效率。

jufeng 发表于 2006-2-15 00:37:00

哪有不吃草料只拉磨的驴呀！设备改清理时是要清理的，还是彻底清理一下吧！

yingquan 发表于 2006-2-15 00:44:00

<P>POLYCOLD每12小时要要除霜，否则影响速度。前级泵换大的</P>

wazxq 发表于 2006-2-15 00:47:00

POLYCOLD每12小时要要除霜？~~~~~~~~~~~~~~，不除有什么问题

楼阁情丝雨 发表于 2006-3-1 07:00:00

<P>同意15楼观点，还是认真维护一下你的设备吧，有句话“二流的设备，一流的产品”</P>

wo07102329 发表于 2007-4-10 18:12:00

<p>我觉得不洗机器是件令人作呕的事情。机器是基础设施，没有它怎么能行呢，不干净怎么能行呢！</p>
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