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光学镀膜技术及膜系设计
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snowcat
发表于 2005-11-1 08:19:00
介电常数
请问,如何测量薄膜的介电常数,另外怎样分析i-v,c-v曲线。谢谢
hydralisk-1
发表于 2005-11-2 22:05:00
<P>基本思路是:利用此薄膜做一个平板电容,2面是金属膜中间是需要测量介电常数的薄膜,通过测量此电容在不同I和V下的C值做图来分析I-V C-V性质。有公式C=Q/U和C= ε* S / d得ε=Q*d / S*U 其中 ε为介电常数</P>
<P>Q为电荷量 U为两金属膜间电压S为电容有效面积d为薄膜厚度。利用专门仪器可直接测量此平板电容的C随U 、温度、真空度的变化曲线了。</P>
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介电常数