lorniale 发表于 2006-2-8 19:31:00

片子上的点子？

同一罩镀出来的片子，有些上面有很多小点子，有些则没有。镀的是氧化物材料，离子源辅助?
请高手指教？

lunik 发表于 2006-2-8 21:06:00

我们也遇到过同类问题！不过镀的有氧化钛

Frey 发表于 2006-2-9 01:29:00

以下是引用lorniale在2006-2-8 11:31:00的发言：同一罩镀出来的片子，有些上面有很多小点子，有些则没有。镀的是氧化物材料，离子源辅助?
请高手指教？
什么机器？
什么材料？
谢谢！

chz321 发表于 2006-2-9 02:42:00

<P>基片材料是什么，</P>

wazxq 发表于 2006-2-9 04:44:00

<P>如果同一圈有的有，有的没有，说明清洗有问题，不同圈不一样另当别论</P>

lorniale 发表于 2006-2-9 06:28:00

<P>就是同一圈的片子，用的也是氧化钛和氧化硅</P>

wazxq 发表于 2006-2-9 20:45:00

那就考虑清洗问题和夹具是否污染，供参考

mxb010ak47 发表于 2006-2-20 23:15:00

膜料是否有污染？问题多数出在氧化硅上，更换氧化硅（或换一根新枪灯丝试试看）。

hj_lml 发表于 2006-2-20 23:32:00

是不是真的哦？可能还有其它膜料引起的吧

lbc 发表于 2006-2-21 03:29:00

<P>这个问题很好搞定。</P>

lieqizcl 发表于 2006-2-22 00:26:00

<P>我有个客户(浙江水晶光电)也遇到过这个问题,据他们工程师说主要是SiO2出现的问题,现在他们更换了SiO2问题基本已经解决,,,不知道你们用的是什么膜料?应该是国内的吧!如果有必要你可以电话联系我13661480959</P>

mxb010ak47 发表于 2006-3-8 21:15:00

<P>好像不同的蒸发速率也会导致出现这种状况，我公司有两台设备就出现类似问题，同样的膜料用在不同的设备上，由于两台设备电子蒸发速率不同，导致一台设备镀出来有问题，而一台则没有，当时也很费解，后来换了不同厂家的sio2（运气好）才解决。</P>
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