飞天狐狸 发表于 2006-3-22 21:41:00

求助：磁控溅射靶加不上功率的原因

请大家帮助分析一下靶材功率（电压、电流）加不上的原因！谢谢

风之炫彩 发表于 2006-3-22 21:52:00

<P>电源？</P>

飞天狐狸 发表于 2006-3-22 22:20:00

<P>应该不是电源的问题，只是靶材电压不稳定，总报警，然后自动停。。。。</P>

zhangyi00102052 发表于 2006-3-23 22:18:00

检查靶阴极的绝缘问题

yaoaohua80 发表于 2006-3-23 23:11:00

<P>你用的是 矩形靶 还是圆形靶？</P>
<P>靶材是什么？</P>
<P>很大的可能性是阳极和阴极短路。</P>

飞天狐狸 发表于 2006-3-23 23:17:00

我们也认为是靶材短路的问题，可是更换靶材以及挡板，用电子表量的话 也没有问题，现在又出现真空抽不上的问题，不知道是不是有联系？

yaoaohua80 发表于 2006-3-23 23:22:00

不知道你们用的是什么镀膜机，我以前做过得也出现过这样的现象，最后查到是冷却水的管道有漏水了，它导致短路发生，不知道能不能对你有所帮助。

zhangyi00102052 发表于 2006-3-24 22:27:00

抽不上去是漏水了，没装好

tianxia 发表于 2006-3-25 00:19:00

<P>拿摇表打，2000V的，先慢速</P>

零点910 发表于 2006-3-25 02:47:00

靶材短路或者电源配电方面有问题

飞天狐狸 发表于 2006-3-25 17:47:00

我们怀疑是冷却水漏水引起的短路和抽不上真空的问题，后来更换了密封圈，烘干，然后没有上靶，只是抽真空，还是抽不上去，现在以停机，等待莱宝技术人员来查。。。。

楼阁情丝雨 发表于 2006-3-26 16:44:00

<P>这种现象有很多原因，希望说的清楚一点，这样大家可以一起帮你分析。</P>
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