cswtct 发表于 2006-4-10 23:35:00

奇了!!透光看光洁度OK,反光看镀膜产生的亮点N多怎么回事?

镀膜面透光检验光洁度20-10,在50倍显微镜下反光检验有非常多的亮点,搞不懂是怎么产生的。哪位同仁有过这样的经验的给点意见呀?先谢谢了。

killjackson 发表于 2006-4-11 03:50:00

<P>产生反应了!</P>

martin1980 发表于 2006-4-11 16:01:00

20-10怎么检验的想知道?

chugqchugq 发表于 2006-4-11 17:15:00

反射对比度大,能看到点子。

cswtct 发表于 2006-4-11 19:27:00

<P>可是同样是点子为什么有的点子反射观察与透光观察不一样呢?</P>
<P>还有这种类型的点子是怎么产生的,反光看有点像脱落的点子。</P>

cswtct 发表于 2006-4-11 19:57:00

如果是产生反应是什么和什么反应的呢,我们基片为LN,镀膜膜料为五氧化二钽和二氧化硅。

renajin 发表于 2006-4-12 17:47:00

<P>我们公司也是啊</P>

ken8447 发表于 2006-4-12 19:13:00

<P>个人分析原因有以下几个:1、由于镀膜材料或镀膜设备所造成的蒸发不稳定,</P>
<P>2、镀膜材料有杂质,3、腔体内有异物,在镀膜过程中产生碰撞,使镀膜线路发生变化。</P>

<P>但控制非常难。</P>

lunik 发表于 2006-4-14 00:32:00

我们也有同样的问题,谢谢8楼的兄弟。

zzzz 发表于 2006-4-17 19:06:00

这不就是一些没有镀上膜的点吗

yari1225 发表于 2006-4-19 17:38:00

可能是蒸发速率太快了吧
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