violet 发表于 2006-4-12 04:39:00

再次请教

请问，我们在镀膜过程中，一直用的一个程序，突然镀同一材料的各个膜层都很有规律的缺少膜厚，每一罩活都是。等机器停了或清扫之后，做原程序又回复正常了。而且这种现象出现了几次。请问这又是什么原因？

violet 发表于 2006-4-15 06:29:00

<P>怎么没人理我？</P>

zzzz 发表于 2006-4-17 18:59:00

<P>光控还是晶控?</P>
<P>清洗周期?真空变化?</P>
<P>影响TOOLING了</P>
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