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光学镀膜技术及膜系设计
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huweiqian
发表于 2006-6-6 01:06:00
尾气处理
<p>有个朋友准备用PECVD设备在红外材料(ZnSe)镀硬膜,但是现在对于尾气的处理不是很清楚,不知哪位高手可以帮忙指点一下.谢谢.</p>
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尾气处理