few
发表于 2006-7-19 16:48:00
<p>霧面的確是整面均勻發白現象</p><p>Ar 150sccm ; O2 85sccm;Power 3500W</p><p>已經想不出有什麼實驗可以證實了 T___T</p>
ic5
发表于 2006-7-19 17:10:00
<p>材料的结晶化是比较头痛的事。</p><p>你试着从温度，Power方面做做看！这就是工艺，就得自己摸索！</p>
WUXIAOTIAN
发表于 2006-7-19 19:27:00
<p>发雾有多方面的原因。</p><p>表面研磨质量、温度、沉积压力、沉积速率不当都可能会造成镜面发雾。</p><p>建议改变一下溅射压力看看。</p>
huhu
发表于 2006-7-22 04:41:00
<p>以下是引用few在2006-7-19 8:48:00的发言：p霧面的確是整面均勻發白現象/ppAr 150sccm ; O2 85sccm ; Power 3500W/pp已經想不出有什麼實驗可以證實了 T___T/p</p><p></p><p>感觉还是要重点考虑清洗的影响。</p><p>如果可能的话，用人工擦拭几片基板，用同样的工艺，看结果怎么样。</p><p>（基板较大的话，人工擦拭可能有点难度，^_^）</p>
eagle1
发表于 2006-7-23 00:00:00
<p>这样的事情非常头疼。你在镀制的时候可以考虑放进k9玻璃进去。这样能够排除玻璃的问题。</p><p></p>
few
发表于 2006-7-27 00:05:00
<p>我有試過以鹼性洗劑擦拭表面</p><p>可是鍍出來好像也沒有任何改善的跡象</p><p>真是惱人的霧面 -.-"</p>
huhu
发表于 2006-7-27 04:21:00
<p>单纯用无水乙醇＋无水乙醚擦拭基片，不要用其他洗剂。</p><p>以前用电子枪的时候发生过“发雾”现象，现在用溅射，还没发生。</p><p>密切关注中～</p>
killjackson
发表于 2006-8-11 22:26:00
<p>19楼的HUHU老兄,</p><p>我用电子枪镀MgF2的时候发生“发雾”现象,能不能给我解惑呢？是什么原因，怎样解决？</p><p>多谢了！</p><p>我的邮箱和电话：<a href="mailto:13085161950@hb165.com">13085161950@hb165.com</a></p><p></p>
xpizwj
发表于 2006-8-12 18:34:00
<p><span style="FONT-SIZE: 9pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 宋体; mso-ascii-font-family: Tahoma; mso-hansi-font-family: Tahoma; mso-bidi-font-family: Tahoma; mso-font-kerning: 1.0pt; mso-ansi-language: EN-US; mso-fareast-language: ZH-CN; mso-bidi-language: AR-SA;">密切关注镀膜中的“发雾”现象。</span></p>
chenchen
发表于 2006-8-13 00:16:00
<p>发雾的主因还是材料的结晶化，改善溅射条件能够达到一定的效果。在厂商的技术交流会上对此问题作过一些探讨，可以作为参考。</p>
huhu
发表于 2006-8-27 02:55:00
<p>不知道Few老兄是否已经解决了“发雾”问题。</p><p>20楼<font face="Verdana" color="#000000">killjackson老兄：</font></p><p><font face="Verdana" color="#000000">很抱歉，以前我只是在尺寸较小的基板上大量使用过MgF2，当时没有出现过表面发雾的情况。</font></p><p><font face="Verdana" color="#000000">我猜除了基板表面洁净度，材料结晶化以外，可能还要考虑一下MgO的作用。</font></p>