ycxmy 发表于 2007-3-27 23:29:00

楼上所讲是指做倾斜膜的吧。

huweiqian 发表于 2007-4-17 22:27:00

wazxq斑竹真厉害，连人员的变化都清楚啊．听说现在ＯＰＴＯＲＵＮ也在开发溅射设备，不过听说不怎么成功．本来ＯＰＴＯＲＵＮ准备用ＲＯＴＡＴＡＢＬＥ靶来提高靶材的利用率，至于什么原因而没有成功，不知道斑竹知道吗？能否透露一下？ＲＡＳ设备的优点估计使用ＲＡＳ的人都很清楚，我觉得ＲＡＳ的一大缺点就是装小的镀膜片很难．
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