txlyaya 发表于 2006-8-25 22:22:00

真空室分子泵抽气处有油迹

<p>电子束蒸发镀AL设备,用了半年发现真空室内部的分子泵抽气口处有些油讥,难道是分子碰的油么?</p><p>还是机械泵的油?</p><p></p><p>目前这台机器的膜厚重复性一直不稳定......设定的厚度和实际测量的厚度老是偏差很大。..而且没有规律性.</p><p></p><p></p><p></p>

dinghaiyi 发表于 2006-8-25 22:36:00

机械泵油的可能性大些，分子泵和机械泵之间的阀门有没有问题啊？

flashzhang 发表于 2006-9-4 20:31:00

检查FV密封性。分子泵本身是没有油的，肯定是RP返油了

liuhai5911615 发表于 2006-9-7 03:01:00

我想也是返油了~~ 暴大气了~~~

zzzz 发表于 2006-9-18 18:38:00

<p>机械泵返油了</p><p>连续生产吗？？？？？</p>

lunik 发表于 2006-9-19 18:58:00

<p>应该是前级泵返油了，是否操作不当？？</p>
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