john03062003 发表于 2007-7-6 16:39:20

我认为关键是控制好腔内的真空度，并且保证每次的蒸发速率的稳定性，假如利用时间来控的话误差相对来讲就太大了，同时在该材料蒸发的时候不会全部都是al2o3分子，假如不充氧的话它的折射率就很难保证。

[ 本帖最后由 john03062003 于 2007-7-6 16:44 编辑 ]

eagle1 发表于 2007-7-8 16:33:03

本人也用氧化铝做过很多，用晶控，从来没有发生过这种情况。

jingxiaobao 发表于 2007-7-9 14:17:24

楼主的AL2O3的充氧量时不时太少了啊？我也做过5层的AR膜，AL2O3用的氧气量是5.0E-3Pa。

jhxxmlhk 发表于 2007-9-12 01:36:14

镀氧化物居然不充氧,牛人啊!OH-5不好,会有品质问题.还有龙翩机器大部分镀Al2O3没问题,可以做稳定,但镀单层Al2O3就是问题了.Al2O3表面硬壳需要定期取出加新药,真空度和蒸发速率要稳定,预熔充分.做好了还是可以做稳定的.
页: 1 [2]
查看完整版本: Al2O3折射率問題