youfishno 发表于 2006-11-27 00:29:00

[下载]用于GaN基LD、LED的衬底（Al2O3，SiC等）激光划片

<p>最近研发用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机（波长266，355nm）。</p><p>请问业界对使用激光划片机有什么具体要求？心得？</p><p>如，激光对掺杂的影响？对器件性能的影响等等？</p>
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