zzzz 发表于 2007-7-26 07:59:50

降低离子束流能量
阳流用十几安也忒很了吧

zjtzzy 发表于 2007-7-26 11:00:04

把离子的电压、阳极电流、充气的流量降下来，可降低镀膜的温度。

huang12949 发表于 2007-7-26 19:38:36

气流量降下来后,阳极电流也没了.......

dongbeiren 发表于 2008-3-26 12:30:30

有霍尔源的结构简图吗,那位慈悲,发一下,给俺普及一下,谢谢!!!
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