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光学加工工艺及检测测试
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lilylyl
发表于 2007-8-9 21:58:26
PSD
超光滑表面评价方法,很是不尽人意,目前比较流行的PSD方法,请高人一起参与探讨。
对于rsm在0.1nm~0.4nm之间的表面而言。
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