whitesnake 发表于 2007-9-7 19:29 static/image/common/back.gif
对于泡生法,最大的难点个人认为是气泡的问题,通常从顶部生长晶体很容易引入气泡造成晶体质量缺陷,其次钼 ...
熱交換在生長過程穩定,不易產生氣泡,重復性好,為什麼大家都不用這個方法?{:3_111:} {:3_111:}
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京瓷的倒模法,我也一直持怀疑态度。近日得到些消息,京瓷有部分3‘下的衬底用的是倒模法,4’以上的用的是cz。
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问题有一些,寄生形核,气体的流量难以精确控制-大尺寸的晶体生长中晶体界面温度梯度控制很复杂,还有气体在管道里引起的震动等。
学习了。
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硅单晶炉与蓝宝石单晶炉使用要求、条件、热场都不一样,甚至某些原理方面都有很大差异。所以,硅单晶炉改造成蓝宝石单晶炉是不可行的,如果一定要改造,肯定即不经济也不实用。
天龙光电开始搞蓝宝石长晶炉,不知道能不能搞好了,他们就是搞硅炉的基础。今年预计100炉子出货呢。
硅炉温度低,热场,还有坩锅,发热材料等不同,长晶的原理上没有很大的分歧吧?
{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}{:6_143:}什么东西。