shaodong1311 发表于 2008-1-7 15:28:47

我也见过这样的情况啊,就是过几天就好了,具体还是没有弄清应该注意什么才能杜绝类似事件的发生.

flashzhang 发表于 2008-1-7 19:44:08

原因是同等工艺条件下，镀膜时的环境变化了，
也就是同样的真空度的情况下，残余气体成分
变化了，其实主要就是水汽多了
属于正常现象
所以长期停机后要作烘烤，才能正式生产

holden 发表于 2008-1-8 16:10:29

正常现象气氛环境达到一个平衡后才能保证设备稳定工作。
如果，半导体公司经常停电，哪么他基本可以关门啦！
顺便提一下，这个时候就可以看出保险公司的重要性啦

木子李 发表于 2008-1-11 20:16:38

同意14楼意见，注意环境以及工艺条件的变化，才能正常，最好先做一些低要求的，以己之见
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