tfc 发表于 2008-1-31 08:58:24

同意IC5，要做好工艺。

xiao2000 发表于 2008-2-2 21:09:23

磁控溅射时间控制完全可以，有些设备根本不配备其他监控手段。

banchao 发表于 2008-2-11 01:49:26

可以 我门公司不用监控可做一百多层的膜系

非蝗 发表于 2008-2-26 16:18:31

是连续线还是单端的？可是不一样的．四层的要求较高

nation 发表于 2008-7-1 05:59:01

如果你将设备调整稳定的话，是可以用时间来控制的。

gxbm 发表于 2008-7-3 17:17:08

原帖由 banchao 于 2008-2-11 01:49 发表 static/image/common/back.gif
可以 我门公司不用监控可做一百多层的膜系
不会吧，不用监控１００多层？厉害哦

tails3582 发表于 2008-7-3 19:52:06

我用的磁控溅射很强，通过时间控制完全可以保证镀膜精度

truckcar 发表于 2008-9-3 08:39:51

原帖由 banchao 于 2008-2-11 01:49 发表 static/image/common/back.gif
可以 我门公司不用监控可做一百多层的膜系


神人

天外来客

truckcar 发表于 2008-9-3 08:41:29

原帖由 tails3582 于 2008-7-3 19:52 发表 static/image/common/back.gif
我用的磁控溅射很强，通过时间控制完全可以保证镀膜精度

光学膜要的不是几何厚度

折射率和很多参数相关

溅射能用的介质很少

不知道你是什麽方法

zhiren 发表于 2008-10-13 17:24:25

不可思意，不用监控都能做到100多层。

ferry 发表于 2008-10-13 19:07:55

VEECO的spector沉积系统就很强大,不用监控几十层可以做到,不过,上百层不用,也还是第一次听说啊.

qjy 发表于 2008-10-14 09:32:43

不用监控做100多层的膜系？确实牛b   呵呵！用的是太上老君的炼丹炉吧！嘿嘿
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