七彩云霞 发表于 2003-9-8 05:45:00

调研:国内那个单位可以生产8~10微米的硅基的二氧化硅波导薄膜

请教各位同仁,国内那个单位可以在硅基上长出8~10微米的二氧化硅薄膜? 或者那位提供一些这方面薄膜生长的相应文章。谢谢!!!!1 :em17:
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