光电工程师社区's Archiver
光电社区
›
光学镀膜技术及膜系设计
› 求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围
dongbeiren
发表于 2008-4-8 15:25:30
求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围
各位大侠好!!!!!
谁可以告诉我,离子束溅射镀膜中,粒子(沉积药材)的能量范围大致是多少?我想,粒子能量是影响膜层牢固度及其它性能的关键,当然,温度,真空度,药材匹配也很关键!!!
大家谈谈吧!
dongbeiren
发表于 2008-4-9 15:19:20
学东西难,分享更难,进步是难上加难!拉兄弟一把吧!
页:
[1]
查看完整版本:
求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围