膜料蒸发速率问题?
为何在蒸镀一层膜关挡板结束的一瞬间蒸发速率(绿线)突然显示很高?望各位同行帮我分析,小弟在此先谢谢各位.请看下图:
[ 本帖最后由 APS1104 于 2008-5-28 11:59 编辑 ] 挡板关了,一下没东西沉积上,晶控不适应了. 楼上说的很有可能，但是为何在开档板的瞬间，晶控又没有跳动呢？
按照道理讲，开档板时膜料也不会及时地沉积到晶片上。 这要看设备的性能了
有的开板是会有突变,而关是不会
有的就和你遇到的一样了. 莱宝机APS1104，
材料挡板先关闭，大概在0.5秒后离子源挡板才关闭，这样在这段时间里晶振片的震动是离子源粒子造成的，所以和材料引起晶振片震动不一样。
联系qq:172960707 APS1110有两个晶振片是在开档板的瞬间蒸发速率会很高，但关挡板结束的一瞬间蒸发速率正常，还有两个晶振片跟楼主一样 谢谢大家的评论！lzb0036你的情况应该是在膜料预熔时已处于蒸发状态了，而且速率比你设定的理论速率要大，所以在开档板的瞬间蒸发速率会很高。 使用XTC/2的现象，开挡板往负的方向，关挡板往正方向，开挡板时因为有速率控制，所以难察觉。在信号线上加0。5——1欧母电阻就可能看到。关挡板，是非控制状态。所以。。。。。。。。。 我的也是一样的看上去速率突然变大，感觉以前没有这种情况，不知道是不是跟设置有关系。
另外 ：我搞镀膜还有些晶振片，估计要换工作了，所以
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