有关脉冲激光沉积的透射镜
向大家请教个问题，脉冲激光（KrF）沉积系统用的聚光的透射镜用一段时间后是否需要更换新的啊？ 不知道你说的 沉积系统用的聚光透镜 是什么意思KrF是准分子激光器 其泵浦方式多用放电泵浦 激光器窗口多采用CaF2晶体作窗口 石英窗口会腐蚀 国产CaF2晶体透过率不好 最好用进口的（有切身体会）如果是用在激光器外光路中的反射镜或透射镜 考虑到成本 采用透紫外石英玻璃就行了 没有必要更换
不知道说的是否清楚 由于KrF激光器一般为放电泵浦，会发出氟气，常时间沉积，会腐蚀腔镜的膜层，需要更换腔镜。一般腔镜的材料为CaF2，我公司代理美国Lambda公司的各种镜片，以准分子激光器镜片和CO2激光器镜片最为著名，如有兴趣可咨询kevin-zhu@koan.com.cn，13693225697，朱飞。
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