baron 发表于 2008-8-26 19:10:38

MGF2的保護膜

最近發現鍍單層MGF2的硬度不夠，大家有沒有發現類似的問題，怎么解決的？？除了提高溫度外

zzh1011 发表于 2008-8-26 23:29:51

加(IAD)呀！

jingxiaobao 发表于 2008-8-28 22:34:30

温度使用在300度,把真空度再提高一些(如2.0E-3Pa),如果还是不行的话,就要考虑基板是否有清洗干净或者镀膜机的抽速了.

baron 发表于 2008-9-1 18:45:08

谢谢,我试式看,都没有加保护的吗

chongying 发表于 2013-12-25 10:28:02

改用氧化硅试试看
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