kaka 发表于 2008-9-16 16:15:22

以下几种镀膜法谁玩过，用的哪家的设备

Magnetron Sputtering
Ion Beam Sputtering
Phase Vapour Deposition
Ion Assisted Deposition

stonetiny 发表于 2008-9-16 19:36:11

Ion Beam SputteringVeeco
Phase Vapour Deposition 南光

kaka 发表于 2008-9-17 16:35:02

原帖由 stonetiny 于 2008-9-16 19:36 发表 static/image/common/back.gif
Ion Beam SputteringVeeco
Phase Vapour Deposition 南光
能不能介绍下各有什么优点

hydralisk-1 发表于 2008-9-18 11:37:15

Magnetron Sputtering磁控溅射    SHINCRON RAS1100C特点量大设备稳定性不错产品外观一般   膜硬（也会脱）
Ion Beam Sputtering      离子溅射   VEECO，没用过，在上光看到过一个
Phase Vapour Deposition   Physical Vapor Deposition?物理气相沉积   只要不是化学溶液沉积 化学气相沉积 之外的全是这个吧？
Ion Assisted Deposition   离子辅助沉积现在市面的主流吧。基本上都的EB配ION。主要的区别还是ION，HALLRF 考夫曼型。

kaka 发表于 2008-9-18 23:04:11

EB是什么啊

zheng 发表于 2008-9-20 20:20:18

EB就是电子枪咯。我们都是这么个叫法。

江城夏日JJ 发表于 2008-9-20 22:34:34

光电的朋友们 有兴趣加入62075363大家讨论 讨论

nittohai 发表于 2008-9-22 09:24:13

都用过了,欢迎与各位同行交流.
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