IR膜问题
最近做,650±10NM 规格的IR膜,DOME外排出现透过区域部分整体偏低情况,请各位帮忙分析下。420-630NM,透过率正常镀是92%左右,现在只有90%,
光控控制。 不知道外排外到什么程度,如果是以前没有最近才有的又或者是不理它镀着镀着自己有好了,应该不是充氧不均的问题,应该是黑药被污染了或者是用的太久了。重新熔新药试试看吧! 是不是均匀性恶化了
外排当然是最外排了,伞的边缘那一圈,药材污染?
我们2台机器都出现了这种情况!
均匀性恶化是什么意思,能说的具体点么?前3圈都是正常的,只有
最外圈才这样,请各位帮忙分析! 什么设备?多大? 修下修正板试试先.
找别的原因都是一些暂时性的瞎扯蛋.
如果修正板修了都没反应再找这些没法说的明白的原因吧. 仁兄,你的滤光片什么要求,我也在做这个东西,可以探讨,你那个多少层,我做了记录也! 问题解决了没有???????????
回复 6# huang12949 的帖子
问题解决了,是侧壁太脏了,加热管太脏了,灰尘就会增加,这样影响氧气到达外排的几率。 可以是充氧的不合适,及离子源功率或角度的问题等等~~! 可能是充氧的不合适,及离子源功率或角度的问题等等~~!
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