破冰而出 发表于 2008-9-22 09:02:31

IR膜问题

最近做,650±10NM 规格的IR膜,DOME外排出现透过区域部分整体偏低情况,请各位帮忙分析下。

420-630NM,透过率正常镀是92%左右,现在只有90%,

光控控制。

HOM2 发表于 2008-9-22 09:41:37

不知道外排外到什么程度,如果是以前没有最近才有的又或者是不理它镀着镀着自己有好了,应该不是充氧不均的问题,应该是黑药被污染了或者是用的太久了。重新熔新药试试看吧!

zzzz 发表于 2008-9-23 11:11:27

是不是均匀性恶化了

破冰而出 发表于 2008-9-23 12:53:54

外排当然是最外排了,伞的边缘那一圈,药材污染?
我们2台机器都出现了这种情况!

均匀性恶化是什么意思,能说的具体点么?前3圈都是正常的,只有
最外圈才这样,请各位帮忙分析!

gxbm 发表于 2008-9-23 15:27:23

什么设备?多大?

huang12949 发表于 2008-9-23 21:08:49

修下修正板试试先.
找别的原因都是一些暂时性的瞎扯蛋.
如果修正板修了都没反应再找这些没法说的明白的原因吧.

niechunyang 发表于 2008-9-24 21:19:36

仁兄,你的滤光片什么要求,我也在做这个东西,可以探讨,你那个多少层,我做了记录也!

9080765256 发表于 2008-9-24 21:47:20

问题解决了没有???????????

破冰而出 发表于 2008-10-9 21:45:04

回复 6# huang12949 的帖子

问题解决了,是侧壁太脏了,加热管太脏了,灰尘就会增加,这样影响氧气到达外排的几率。

lzh123jy 发表于 2012-5-24 23:40:49

可以是充氧的不合适,及离子源功率或角度的问题等等~~!

lzh123jy 发表于 2012-5-24 23:41:57

可能是充氧的不合适,及离子源功率或角度的问题等等~~!
页: [1]
查看完整版本: IR膜问题