haisheng_0_0 发表于 2008-10-20 18:57:19

关于莱宝aps904离子源的问题

各位前辈，本人操作的aps904离子源最近出现一个问题，
在碳棒和LaB6换了新的以后（已激活），旧的坏了，离子源出现放电电压不稳定的问题，变化幅度比较大，之前比较稳定。偏转电压比放电电压低30-40V（TiO2.SIO2）,之前偏转比放电高12V左右。
碳棒和LaB6新，阳极桶新，陶瓷部件旧，边缘变黑碳化，有略微磨损。
问题：
如何解决离子源不稳定现象？
陶瓷部件怎么清理？我们用银砂纸，但效果不好。

haisheng_0_0 发表于 2008-10-21 11:32:53

没人懂啊？高手出现出现出现

tfc 发表于 2008-10-21 16:43:59

三个原因：接触、漏电、不清洁。
你仔细检查电极插脚座之间应该有石墨的残留物，彻底除去。
BN6用好的小刀轻轻刮除黑色。
装好电极，观察不可露出石墨。
执行解毒程序。
以上全部做一次，应该可以解决。

haisheng_0_0 发表于 2008-10-21 21:50:33

终于有人出现了，谢谢，谢谢
今天拆了下离子源，那个小的锥形BN6受损了，换掉。碳棒2角之间很干净，因为是新换的。清洁了一下，好点，放电电压平稳了。但是偏转电压还是比放电电压低，但不是低那么多，不知道这个应该怎么办？
前辈知道的话，希望能告知啊，:handshake

mangovc 发表于 2008-10-22 07:51:35

以前使用偏压就比放电电压低吗？我用的是APSPRO和你的那个应该有一点点区别,你所说的偏转电压，是不是指BIAS电压啊？在我们这放电电压要比偏压低才对啊，你们有没有尝试调节一些参数？例如气流量，线圈电流。

zzzz 发表于 2008-10-22 08:18:11

偏压是设置值,而放电电压应是动态值

haisheng_0_0 发表于 2008-10-22 13:05:23

原帖由 mangovc 于 2008-10-22 07:51 发表 static/image/common/back.gif
以前使用偏压就比放电电压低吗？我用的是APSPRO和你的那个应该有一点点区别,你所说的偏转电压，是不是指BIAS电压啊？在我们这放电电压要比偏压低才对啊，你们有没有尝试调节一些参数？例如气流量，线圈电流。
回5.6楼，在以前的正常的情况下，BIAS电压比放电电压高十几V左右。BIAS电压应该就叫偏转电压吧？偏转电压和放电电压一样是受可控的啊，调节气体流量对放电电压和偏转电压的影响是一样的，同高同低。线圈电流一直是常数，没动过。
昨天发现LaB6的有氧化的痕迹，会不会氧化的原因？重新激活下会不会好点？

tfc 发表于 2008-10-22 14:23:47

过了太多年了，都忘了很多，放电电流低就会升高电压。
总的来讲，没有实质性问题，都是可拆部分安装问题。
首先拔出石墨后，用强光手电筒照射内部，仔细观察两脚插座的缝隙内应该有脏物。
不然是镀银链的安装缝中有，
用锯片把石墨最薄处再锯一点。

haisheng_0_0 发表于 2008-10-22 18:34:37

呵呵，收到，明天再看看，谢谢

mangovc 发表于 2008-10-23 07:54:50

BIAS电压应该叫偏置电压，简称偏压和偏转电压是有很大区别的。3楼的TFC不是说，要解毒吗？其实我们一般把参数设置低一点，让APS点一会就解毒了。不过开真空室门记得开热水~~

zzzz 发表于 2008-10-23 08:24:37

看来楼主仍对APS源不了解啊
还是全部更新下阴极组件吧,看看是否正常

haisheng_0_0 发表于 2008-10-23 11:08:28

原帖由 zzzz 于 2008-10-23 08:24 发表 static/image/common/back.gif
看来楼主仍对APS源不了解啊
还是全部更新下阴极组件吧,看看是否正常
.国企啊，机器到我手里什么资料都没有，都在摸索中前进啊，好机器都浪费了，让我练手了。悲哀啊悲哀。生产任务忙的时候，APS的部件一个月换一件，不是这坏就是那坏，没有正确的使用指导啊。反正是花国家钱都不心疼，要是在别的企业老板早毛了，呵呵
那位大哥有资料发给我一份吧，haisheng_0_0@163.com.谢个先
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