luoluo520 发表于 2009-3-5 13:00:53

PECVD技术制备氧化硅薄膜

国外PECVD技术制备氧化硅薄膜光学性能研究 ？谁知道，谢

AR_coating 发表于 2009-3-5 14:29:20

IEEE上应该有很多这方面的文章，可以看看.
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