liumichael 发表于 2009-3-12 12:16:05

求助磁控溅射

射频磁控溅射机能不能不用靶材，直接轰击里面的Ar气产生等离子，对基材进行等离子镀膜？

ahei777 发表于 2009-3-12 13:35:49

没有靶材只能做预清洁..镀不上东西的把

zzzz 发表于 2009-3-12 16:18:06

基座是什么材料的啊
高不好就把基座镀上去了

liumichael 发表于 2009-3-14 10:02:08

我现在就是急切的想知道，射频磁控溅射机到底能不能做等离子溅射？那位能手给我解答一下，万分感谢！
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