一、控制车间湿度，太干燥了容易出现针孔现象
二、防止静电的产生，所有台车要接地，人员最好穿防静电服
三、确认镀膜机粗引时候的速度，调小SRV阀门的气体流量，延长RV的打开时间，尽量减小炉内的气体流动过快而使灰尘飞起来。（可以做实验来确认）
大气导入时，速度也不要太快啊
如果车间的空气不太干净，就不要开离子风扇了
颗粒状的SIO2用来镀滤光片比较不好,改用环料(APS1104镀膜机)较好,TIO2膜料本身镀出来光洁度差(一般用的是便宜的膜料).以你所提供的速率来看,对光洁度影响的最大的为SIO2后TIO2.如果是有一层雾或者砂应为TIO2的问题(TIO2受到污染,要注意),如果是亮点和白点的为SIO2的问题(如果有条件可以改环形块料SIO2,如果没有条件的话镀膜过程中功率要控制好,不要一下子升太高的功率).
还有离子源/电子枪/真空室对薄膜的光洁度也有一定的影响.不常在线,联系邮箱:fql3310@163.com
这人有点不厚道,怎么没有跟贴,说了白说.......
是不是离子源的能量太大了，或者参数没有设置好，你用的是什么源？国产的还是进口的？
是不是机器不怎么干净啊