然后试着把温度改下 楼上3#说的有可能噢。我仔细看了你的蒸镀条件，首先SIO2蒸发速率太快了，建议控制在6-15a/s；TIO2：2-4a/s，蒸镀TIO2膜料电子枪光斑改为条状蒸发。 楼上3#说的有可能噢。我仔细看了你的蒸镀条件，首先SIO2蒸发速率太快了，建议控制在6-15a/s；TIO2：2-4a/s，蒸镀TIO2膜料电子枪光斑改为条状蒸发。
APS1104 发表于 2009-5-24 18:17 static/image/common/back.gif
蒸镀TIO2膜料电子枪光斑改为条状蒸发
扫描面积大了飞溅少点，速率会降低，电子枪功率要加大。
速率降低意味着效率降低，老板不乐意，不是你想做就可以做的。
蒸镀TIO2膜料电子枪光斑改为条状蒸发
扫描面积大了飞溅少点，速率会降低，电子枪功率要加大。
速率降低意味着效率降低，老板不乐意，不是你想做就可以做的。
jhxxmlhk 发表于 2009-5-27 21:26 static/image/common/back.gif
不会吧，老板还管那么多？ 也差不了多少时间的。 白点问题：我觉得是氧气过多引起的，镀TIO2时减小O2的流量，检查真空排气问题。
红点问题：把坩埚做一次扫除，把TIO2换掉，用新的再做一次预熔，预熔是注意电子束的位置不用打到坩埚上，检查坩埚的冷却水是否正常。 同样问题在摸索中，请问你的问题解决了吗？指教一下，我的出现3天了，台灯下透光白点，20倍红光显微镜下红点密集，请各位高手指点 {:6_145:}
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