ysc212 发表于 2009-6-22 23:09:26

应该是基底没有清洗干净，或离子源功率太大了

鱼边的水 发表于 2009-6-24 23:47:34

离子源功率过大？
有可能是原因之一
我用的离子源是大电压小电流型的
但，我镀了1000nm
还是有针孔
不知为何

zzzz 发表于 2009-6-25 08:30:48

那就减少电压加大电流试试

鱼边的水 发表于 2009-6-26 22:21:27

电荷积累？？？？？？？？？？？？？
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