光电工程师社区's Archiver
光电社区
›
光学镀膜技术及膜系设计
› 镀sio2时需要充氧吗?充多少啊?
lxf0103
发表于 2009-9-1 17:02:19
我们做的AR和HM及RM,PBS中都没给冲过啊!~~
lao7_tao
发表于 2009-9-1 20:30:25
如果要制备无吸收薄膜时,还是要充一些的。我们充5SCCM即可。
页:
1
[2]
查看完整版本:
镀sio2时需要充氧吗?充多少啊?